用处：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵可能在宽泛的利用领域提供良好的机能，， ，，，，，，合用于严苛造程。 。。。。。。。
它良好的机能源自于转子排气蹊径和优越的转子型线设计。 。。。。。。。
合乐HL8怪异型线设计，， ，，，，，，上海，， ，，，，，，台湾，， ，，，，，，造作。 。。。。。。。
较之前的版本节能25%，， ，，，，，，配置有省电模式。 。。。。。。。
带有加热系统预防造程物沉积。 。。。。。。。
优化的尺寸，， ，，，，，，即插即用。 。。。。。。。
